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제목
HR-ICP-MS를 이용한 반도체용 precursors의 염소이온 분석기술
날짜
2023.11.22 17:30
글쓴이
JKC 김경식
조회
118
(주)제이케이씨 이한울 선임 연구원이 Royal Society of Chemistry에 투고하여 기제된 논문입니다.
파일첨부 :
1.
Determination of chlorine in Hf precursors by high resolution inductively coupled plasma mass.pdf
다운로드횟수[53]
