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제목 IC (Ion Chromatography) 분석 서비스 시행 날짜 2013.06.27 17:10
글쓴이 JKC 조회 3866

많은 고객문들의 요청에 의해 JKC에서는 Ion Chromatography를 이용한 Ion 분석 서비스를 시작하게 되었습니다.

분석관련 문의 사항이 있으시면 언제든지 연락주세요.

(적용분야 : Photomask, Photpmask 관련 부품소재, D.I.W, 반도체 관련 부품소재등)

1.설비 현황 :

     1-1. Clean room : class 100이하

     1-2. 초순주 제조장치 : <10ppt이하

     1-3. ICP/MS : Thermo iCAP-Q

     1-4. Ion Chromatography : Dionex-600

 

2. Ion Chromatography

      DIW에 오염된 이온류(Cl, NO3, PO4, SO4, NH4) 분석을 위해서는 시료 용액보다 오염이 없는 DIW

    오염물질 유입이 최소화된 Clean room, 분석대상에 맞는 전처리 장치등 많은 설비를 필요로 합니다.

      제이케이씨는 Class 100이하의 clean room에서 모든 전처리가 이루어 지며, 분석을 위한 시료

     도입 시 10여분 정도 시료가  대기중에 open되는데 N2 purge 장치를 이용해 외부 공기와 완전 차단

     되어 공기중에 존재 하는 오염물질이 용해되어 2차 오염 발생을 억제 하였습니다.

      또한 시료의 농축량을 증가하여 미량으로 존재하는 오염 물질을 모다 높은 정확성을 갖게 되었습니다.     

 

제이케이씨

    

I.C Model

Dionex DX-600

작업 환경

Clean room

Column

AS12A

AS12A F이온에 대한 분리능이 AS4A-SC에 비해 우수하며, AS4A-SC에서 발생되는 Carbonate peakCl peak이 겹치는 현상을 제거시켜 Cl의 정확한 정량이 가능 함.

Eluent

Carbonate /

Bicarbonate

시료 농축량

10 g

농축량이 많아지면 Peak크기가 증가되어 정량 분석이 용의함.

시료도입 장치

N2 purge 장치

N2 purge 장치를 이용하여 대기로 부터 용해되어 발생되는 2차 오염을 차단하여 정확한 분석이 가능 함.

Detection limit

<0.1ppb

AS12A column과 농축량 증가, 시료 도입장치의 modify로 인해 detection limit을 향상시킴.

   

 

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